Die Oberflächenprüfung von Bauteilen aus Kunststoff mit Mikrostrukturen im Bereich von wenigen Mikrometern ist mit hohem Zeitaufwand verbunden. Eine fortlaufende Inlineprüfung wird dadurch unwirtschaftlich, weshalb die Maßhaltigkeit komplexer Teile oftmals nur stichprobenartig geprüft wird. Hinzu kommen Anforderungen wie Reinraumnutzung und Verfügbarkeit.