Optische Formmessung
Rauheit, Form und Topographie.
In einem Scan.
Rauheit, Zylinderform und Oberflächentopographie rotationssymmetrischer Präzisionsteile — berührungslos per Weißlichtinterferometrie, mit 100 nm Genauigkeit, in einem Messdurchlauf.
Die Herausforderung
Alle kritischen Maße — auch in Bohrungen ab 0,5 mm.
Rauheit, Form und Topographie kleiner Präzisionsteile werden heute meist mit getrennten Systemen erfasst. Das erfordert mehrere Aufspannungen; Innengeometrien unter 1 mm sind taktil sehr schwer erreichbar.
Wenn das auf Sie zutrifft
- Taktile Systeme sind Ihnen zu langsam.
- An Innengeometrien unter 1 mm kommen Sie nicht heran.
- Sie brauchen heute mehrere Messgeräte für eine Aufgabe.
- Ihre Optik-Oberflächen sind zu empfindlich für Antastung.
Taktile Messung
Antastende Systeme erfassen die Oberfläche punkt- oder linienweise. Vollflächige Form- und Rauheitsdaten an einem Präzisionsteil erfordern entsprechend lange Messzeiten je Bauteil.
Zugang zu Innengeometrien
Innendurchmesser unter 1 mm sind für Taster und viele optische Verfahren nur erschwert zugänglich — obwohl dort funktionsentscheidende Maße z.B. von Linsenfassungen und Mikrobohrungen liegen.
Getrennte Messsysteme
Rauheit, Form und Topographie auf je eigenem Gerät erfassen bedeutet mehrere Aufspannungen. Jeder Wechsel führt einen neuen Bezug ein und erschwert die Vergleichbarkeit der Ergebnisse.
Empfindliche Oberflächen
Optische Funktionsflächen dürfen nicht angetastet werden. Eine berührende Messung birgt das Risiko von Kratzern und Abdrücken auf Flächen, die makellos bleiben müssen.
Das Verfahren
Form, Rauheit und Defekte in einem berührungslosen Messdurchlauf.
Die Weißlichtinterferometrie erfasst rotationssymmetrische Präzisionsteile vollflächig und liefert in einem Durchlauf die Messgrößen, die sonst auf getrennte Systeme verteilt sind.
Alle Messgrößen in einem Scan
Rauheit (Ra, Rz, Sa), Zylinderform und Rundheit, Oberflächentopographie und Defekte — in einem einzigen Messdurchlauf, ohne Umspannen.
Innengeometrie ab 0,5 mm
Zugang zu Innendurchmessern ab 0,5 mm — ein Bereich, der taktilen Systemen und Koordinatenmessgeräten nicht zugänglich ist.
Vollflächige 3D-Topographie
Keine Einzellinie, kein Stichprobenprofil: die gesamte Fläche wird erfasst — Form, Welligkeit und lokale Defekte im selben Datensatz.
Schlüsselfertige Prüflösungen
Auf Basis Weißlichtinterferometrie, in Aachen entwickelt. Service und Support aus einer Hand — vom Messkonzept bis zur laufenden Anlage.
Prüfen in Serie
Im Messeinsatz.
Wir messen rotationssymmetrische Präzisionsteile mit Innengeometrien ab 0,5 mm — Form, Rauheit und Defekte berührungslos in einem Scan, mit dokumentiertem Nachweis für jedes Teil.
Auswertungen aus realen Messungen.
Drei Beispielauswertungen — Formabweichung, Defektanalyse und Innenflächen-Inspektion. Die Bauteile sind bewusst anonymisiert dargestellt.

Formabweichung, abgewickelt dargestellt.
Die Zylinderform wird abgewickelt und gegen die Soll-Geometrie aufgetragen — Abweichungen über die gesamte Fläche werden auf einen Blick sichtbar, nicht nur entlang einzelner Linien.
- Messgröße
- Zylinderform / Rundheit
- Genauigkeit
- ab 100 nm
- Erfassung
- vollflächig

Mikrodefekte im Höhenprofil.
Lokale Defekte werden im selben Datensatz lokalisiert und im Höhenprofil quantifiziert — getrennt von der Gesamtform, ohne zweite Messung.
- Messgröße
- Defekte / Topographie
- Auflösung
- ab 20 nm
- Prinzip
- berührungslos

Kratzer auf der Innenfläche.
Auch in Innengeometrien ab 0,5 mm werden Kratzer und Strukturen auf der Oberfläche erfasst — dort, wo taktile Verfahren keinen Zugang haben.
- Messgröße
- Oberflächendefekte
- Innen-Ø
- ab 0,5 mm
- Rauheit
- Ra · Rz · Sa
Was bisher mehrere Systeme erfordert, erfasst ein WLI-Messdurchlauf.
Taktile Systeme
- Punkt-für-Punkt-Antastung — langsam pro Teil
- Herausfordernder Zugang zu Innengeometrien unter 1 mm
- Berührung empfindlicher Optik-Oberflächen
Koordinatenmessgeräte
- Form, aber Rauheit nicht integriert
- Einzelne Aufspannung je Messgröße
- Innenzugang an kleinen Durchmessern begrenzt
MABRI · WLI
- Form, Rauheit und Defekte in einem Scan
- Innengeometrien ab 0,5 mm zugänglich
- Berührungslos — in 30 s bis 2 min
REFERENZEN
AR / Smart Glasses
CA · US
EUV Halbleiter
NL
Tier-1 Automotive
München · DE
MedTech Implants
Boston · MA
Diagnostik-Chips
Hilden · DE
Drug Delivery
Massachusetts · US
MV.BRIX — modulare Plattform
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Branchen
Medizintechnik und Optik im Fokus.
Der Schwerpunkt liegt auf rotationssymmetrischen Präzisionsteilen, deren Funktion von Mikrostrukturen an Innen- und Funktionsflächen abhängt.
Präzise Innengeometrien
Mikrobohrungen und zylindrische Funktionsflächen, deren Form, Rauheit und Defektfreiheit über die Funktion entscheiden — berührungslos und vollflächig geprüft.
Linsen & Linsenfassungen
Empfindliche optische Funktionsflächen und Fassungen, die ohne Antastung gemessen werden müssen — Form, Topographie und Oberflächengüte in einem Datensatz.
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