Bei einer Auflösung von 0,75 μm können in Abhängigkeit von der Bauteilgröße Taktzeiten von unter 20 s erreicht werden.
Durch den ausschließlichen Einsatz von Reinraum-geeigneten Komponenten kann das System direkt als End-of-Line Prüfung im Reinraum genutzt werden.
Eine automatische Z-Nachführung sorgt für eine zuverlässige Prüfung komplexer Prüfteile. Durch den Einsatz von Rezeptdatenbanken kann das System auch flexibel für unterschiedliche Prüflinge genutzt werden.
Die extreme Lichtstärke der Hochgeschwindigkeits-Kamera liefert wiederholbare und zuverlässige Aufnahmen verschiedenster Prüflinge und kann je nach Anforderung angepasst werden.
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