Optische Formmessung

Rauheit, Form und Topographie.
In einem Scan.

Rauheit, Zylinderform und Oberflächentopographie rotationssymmetrischer Präzisionsteile — berührungslos per Weißlichtinterferometrie, mit 100 nm Genauigkeit, in einem Messdurchlauf.

Ø ab 0,5 mm
Innendurchmesser
100 nm
Genauigkeit
1 Scan
Form · Rauheit · Defekte
unter 2 min
Taktzeit
Die Herausforderung

Alle kritischen Maße — auch in Bohrungen ab 0,5 mm.

Rauheit, Form und Topographie kleiner Präzisionsteile werden heute meist mit getrennten Systemen erfasst. Das erfordert mehrere Aufspannungen; Innengeometrien unter 1 mm sind taktil sehr schwer erreichbar.

Wenn das auf Sie zutrifft
  • Taktile Systeme sind Ihnen zu langsam.
  • An Innengeometrien unter 1 mm kommen Sie nicht heran.
  • Sie brauchen heute mehrere Messgeräte für eine Aufgabe.
  • Ihre Optik-Oberflächen sind zu empfindlich für Antastung.
Herausforderung · 01

Taktile Messung

Antastende Systeme erfassen die Oberfläche punkt- oder linienweise. Vollflächige Form- und Rauheitsdaten an einem Präzisionsteil erfordern entsprechend lange Messzeiten je Bauteil.

Unser AnsatzDie WLI-Optik erfasst die Fläche berührungslos in einem Durchlauf — 30 s bis 2 min je Bauteil.
Herausforderung · 02

Zugang zu Innengeometrien

Innendurchmesser unter 1 mm sind für Taster und viele optische Verfahren nur erschwert zugänglich — obwohl dort funktionsentscheidende Maße z.B. von Linsenfassungen und Mikrobohrungen liegen.

Unser AnsatzBerührungslose WLI-Messung mit Zugang zu Innendurchmessern ab 0,5 mm.
Herausforderung · 03

Getrennte Messsysteme

Rauheit, Form und Topographie auf je eigenem Gerät erfassen bedeutet mehrere Aufspannungen. Jeder Wechsel führt einen neuen Bezug ein und erschwert die Vergleichbarkeit der Ergebnisse.

Unser AnsatzForm, Rauheit und Defekte entstehen aus einem Datensatz — ohne Umspannen.
Herausforderung · 04

Empfindliche Oberflächen

Optische Funktionsflächen dürfen nicht angetastet werden. Eine berührende Messung birgt das Risiko von Kratzern und Abdrücken auf Flächen, die makellos bleiben müssen.

Unser AnsatzBerührungslose Messung — kein Kontakt mit der Funktionsfläche.
Das Verfahren

Form, Rauheit und Defekte in einem berührungslosen Messdurchlauf.

Die Weißlichtinterferometrie erfasst rotationssymmetrische Präzisionsteile vollflächig und liefert in einem Durchlauf die Messgrößen, die sonst auf getrennte Systeme verteilt sind.

Merkmal / 01

Alle Messgrößen in einem Scan

Rauheit (Ra, Rz, Sa), Zylinderform und Rundheit, Oberflächentopographie und Defekte — in einem einzigen Messdurchlauf, ohne Umspannen.

Merkmal / 02

Innengeometrie ab 0,5 mm

Zugang zu Innendurchmessern ab 0,5 mm — ein Bereich, der taktilen Systemen und Koordinatenmessgeräten nicht zugänglich ist.

Merkmal / 03

Vollflächige 3D-Topographie

Keine Einzellinie, kein Stichprobenprofil: die gesamte Fläche wird erfasst — Form, Welligkeit und lokale Defekte im selben Datensatz.

MERKMAL / 04

Schlüsselfertige Prüflösungen

Auf Basis Weißlichtinterferometrie, in Aachen entwickelt. Service und Support aus einer Hand — vom Messkonzept bis zur laufenden Anlage.

Prüfen in Serie

Im Messeinsatz.

Wir messen rotationssymmetrische Präzisionsteile mit Innengeometrien ab 0,5 mm — Form, Rauheit und Defekte berührungslos in einem Scan, mit dokumentiertem Nachweis für jedes Teil.

100 nm
Genauigkeit
Ø ab 0,5 mm
Innendurchmesser
Form · Rauheit · Defekte
In einem Scan
30 s – 2 min
Je Bauteil
Mess-Beispiele

Auswertungen aus realen Messungen.

Drei Beispielauswertungen — Formabweichung, Defektanalyse und Innenflächen-Inspektion. Die Bauteile sind bewusst anonymisiert dargestellt.

Geprüfte Präzisionsteile, per Scroll gedreht
WLI · vollflächig

Formabweichung, abgewickelt dargestellt.

Die Zylinderform wird abgewickelt und gegen die Soll-Geometrie aufgetragen — Abweichungen über die gesamte Fläche werden auf einen Blick sichtbar, nicht nur entlang einzelner Linien.

Messgröße
Zylinderform / Rundheit
Genauigkeit
ab 100 nm
Erfassung
vollflächig
Geprüftes transparentes Präzisionsteil mit Innengeometrie, per Scroll gedreht
Defekt- & Profilanalyse

Mikrodefekte im Höhenprofil.

Lokale Defekte werden im selben Datensatz lokalisiert und im Höhenprofil quantifiziert — getrennt von der Gesamtform, ohne zweite Messung.

Messgröße
Defekte / Topographie
Auflösung
ab 20 nm
Prinzip
berührungslos
Blick in die Mikrobohrung eines geprüften Präzisionsteils, per Scroll gedreht
Innenflächen-Inspektion

Kratzer auf der Innenfläche.

Auch in Innengeometrien ab 0,5 mm werden Kratzer und Strukturen auf der Oberfläche erfasst — dort, wo taktile Verfahren keinen Zugang haben.

Messgröße
Oberflächendefekte
Innen-Ø
ab 0,5 mm
Rauheit
Ra · Rz · Sa
Im Vergleich

Was bisher mehrere Systeme erfordert, erfasst ein WLI-Messdurchlauf.

Taktile Systeme

  • Punkt-für-Punkt-Antastung — langsam pro Teil
  • Herausfordernder Zugang zu Innengeometrien unter 1 mm
  • Berührung empfindlicher Optik-Oberflächen

Koordinatenmessgeräte

  • Form, aber Rauheit nicht integriert
  • Einzelne Aufspannung je Messgröße
  • Innenzugang an kleinen Durchmessern begrenzt

MABRI · WLI

  • Form, Rauheit und Defekte in einem Scan
  • Innengeometrien ab 0,5 mm zugänglich
  • Berührungslos — in 30 s bis 2 min
REFERENZEN

AR / Smart Glasses
CA · US

EUV Halbleiter
NL

Tier-1 Automotive
München · DE

MedTech Implants
Boston · MA

Diagnostik-Chips
Hilden · DE

Drug Delivery
Massachusetts · US

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Branchen

Medizintechnik und Optik im Fokus.

Der Schwerpunkt liegt auf rotationssymmetrischen Präzisionsteilen, deren Funktion von Mikrostrukturen an Innen- und Funktionsflächen abhängt.

Medizintechnik

Präzise Innengeometrien

Mikrobohrungen und zylindrische Funktionsflächen, deren Form, Rauheit und Defektfreiheit über die Funktion entscheiden — berührungslos und vollflächig geprüft.

Optik

Linsen & Linsenfassungen

Empfindliche optische Funktionsflächen und Fassungen, die ohne Antastung gemessen werden müssen — Form, Topographie und Oberflächengüte in einem Datensatz.

Auch einsetzbar für zylindrische Präzisionsteile in Feinwerktechnik, Automotive sowie Luft- & Raumfahrt.
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